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氮化鋁陶瓷加工

  • 燒結(jié)是氮化鋁多層基板產(chǎn)品非常重要的工藝,在這個(gè)過(guò)程中產(chǎn)品由生瓷通過(guò)高溫收縮成熟瓷,對(duì)于尺寸精度而言這個(gè)階段會(huì)影響產(chǎn)品的平整性及絕對(duì)尺寸,燒結(jié)曲線與燒結(jié)參數(shù)的穩(wěn)定性是關(guān)鍵因素[9]。 在成瓷階段,由于多層產(chǎn)品本身的結(jié)構(gòu)復(fù)雜存在多重的不對(duì)稱性,在收縮的過(guò)程中各個(gè)方向所受應(yīng)力不盡相同;同時(shí),金屬化與陶瓷的收縮溫度段及收縮率也不相同,產(chǎn)品內(nèi)部金屬化也分布各異,造成各個(gè)區(qū)域應(yīng)力分布不同。

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